[特集]防塵切断の効果について
ガラス基板を切り分けるスクライブの写真と飛散するガラス屑
・ ガラスの飛散具合をイメージしやすいようにガラス基板をガラス切でスクライブした(図1、図2)。
・図2のようにスクライブすることでガラス基板上に直線状の傷が入り、その周囲にガラス屑が飛散
していることが分かる(図3)。
・図4のように防塵仕様で切断していない基板では、ブレイク(切り分け)した際に飛散したガラスが
基板表面に付着している。
・付着したガラスクズは、基板表面と面で密着するとブローや超音波洗浄を施しても完全に取れる
ことはない。机の上に下敷きを置くと取り難くなることと原理は同じである。
・防塵切断:ガラス基板上をフォトレジストをコートした状態でスクライブ&ブレイクを行う。
ガラス屑はフォトレジスト上に飛散するため、フォトレジストを取り除く洗浄工程において一緒に流れ落ちる。
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飛散したガラス屑の電力特性への影響と有機EL素子の発光表面
・防塵を施していない基板(防塵なし� 砲鰺僂い徳濃劼鮑鄒修垢襪氾填亡屮轡隋璽箸�よく発生する。
ショートがあると発光しないため、電力特性などは測定できない(グラフ:防塵なし� 法�
・防塵を施していない基板(防塵なし�◆砲任眸�光するものもあるが、図1のように発光表面に
ダーク・ライトスポットが多発している。
・ダーク・ライトスポット箇所ではマイクロショートになっていることが多く、下グラフのように低電流領域では
大半の電流がショート箇所に流れるためほとんど発光せず、電力効率はほぼゼロである(グラフ:
防塵なし��)。ある程度電流値が上昇するとショート箇所では流しきれなくなるので発光し始めるが、
ショートがある分だけ電力効率は低下している。
・防塵切断仕様の基板を用いて作製した有機EL素子では、図2の様にダーク・ライトスポットは発生していない
ため良好な電力特性が得られている(グラフ:防塵切断)。
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