有機EL評価の流れ(有機半導体開発室)

 

ITO基板を用意します ITO基板_有機EL評価_Q-Lights

▲咫璽ーに超純水を入れます

 

  18MΩ以上

  POC:10ppb以下

有機EL評価_Q-Lights
ITO基板を洗浄治具に入れて、超純水の入ったビーカーにセットします ITO基板_有機EL評価

つ恐伺叛浄をします

 (パーティクルの大きさに応じた周波数とします)

 

  周波数:23KHz〜2MHz

超音波洗浄_有機EL評価

ゴチ膰紂UVオゾン洗浄をします

 

  フェイスダウン式

  10mW/cm2 @256nm

UV洗浄_有機EL評価
Υ霹弔魯妊献院璽拭爾琶欖匹靴討い泙 デジケーター_有機EL評価_Q-Lights
Ю浄後の基板を蒸着装置にセットします 蒸着装置_有機EL評価
  蒸着装置_有機EL評価
有機EL材料を蒸着装置にセットします 蒸着装置_Q-Lights

<有機EL材料を入れるるつぼ>

このるつぼに有機EL材料を入れ加熱することで有機EL材料を蒸着しています。

このるつぼの特徴は、出口にボトルネックがあることです。

これにより、るつぼに材料が少ししか入っていない時も、いっぱいに入っている時もツーリングレートが変わらず、蒸着速度をコントロールできます。

※ツーリングレートの材料残量・蒸着速度依存性が小さい。

 

 

蒸着るつぼ_有機EL評価

蒸着条件をセットします

蒸着条件セット_有機EL評価

基板に蒸着させます

 

  10-5Paオーダー

基板に蒸着_有機EL評価

蒸着が終わった基板にグローブボックス内で封止用のキャップを張りつけます

 (有機ELは水分や酸素に弱いため封止しないとすぐに劣化します)

 

  酸素:水分 1ppm以下

グローブボックス_有機EL評価

UVで封止を完成させます

ラミネート封止_有機EL評価

作製した有機ELの性能評価を行います

(発光表面、電流・電圧・輝度[IVL])

有機EL評価_Q-Lights
最大10儚僂陵機ELを作成することが可能です 10儚冤機EL_Q-Lights

成膜デモンストレーションやレンタルラボの対応も可能です。
・蒸着成膜(有機・無機)
詳細はお問い合わせ下さい